国家知识产权局信息显示,亚赛(无锡)半导体科技有限公司申请一项名为“一种半导体加工等离子刻蚀机”的专利,公开号CN122552416A,申请日期为2026年4月。

专利摘要显示,本发明提供了一种半导体加工等离子刻蚀机,属于等离子刻蚀机技术领域,包括托盘本体、竖刮组件、横刮组件、第一驱动组件以及传动组件,所述托盘本体上部边缘开设有可供晶圆片前方的容纳槽,所述竖刮组件设置在所述容纳槽内侧,所述横刮组件设置在所述托盘本体上部,所述第一驱动组件安装在所述托盘本体上,所述传动组件一端与所述第一驱动组件相连,另一端与所述竖刮组件以及所述横刮组件相连。本发明实施例相较于现有技术,在晶圆片蚀刻完毕后,能够针对托盘本体上容纳槽内部的反应副产物进行自动清理,从而防止反应副产物滞留在容纳槽内部,以避免对后续晶圆片的蚀刻造成影响。

天眼查资料显示,亚赛(无锡)半导体科技有限公司,成立于2021年,位于无锡市,是一家以从事金属制品业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,亚赛(无锡)半导体科技有限公司财产线索方面有商标信息12条,专利信息25条,此外企业还拥有行政许可6个。

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作者:情报员