国家知识产权局信息显示,南昌大学;南昌实验室;南昌硅基半导体科技有限公司申请一项名为“电流扩展增强的侧向注入氮化镓基VCSEL”的专利,公开号CN122552938A,申请日期为2026年5月。

专利摘要显示,本发明公开了一种电流扩展增强的侧向注入氮化镓基VCSEL,包括侧向电流注入结构,侧向电流注入结构包括:电流孔径层、电流限制层和欧姆接触金属层;电流孔径层设于P型层的表面,至少包括第一子层和第二子层,第二子层邻近P型层,第一子层设于第二子层背离P型层的一侧;第二子层的电阻率高于第一子层;电流孔径层具有凸台结构,凸台结构至少包括第一子层,限定出凹槽;欧姆接触金属层仅与凸台结构的侧壁之间形成欧姆接触。工作时,电流从欧姆接触金属层注入,经由凸台结构的侧壁进入电流孔径中的第一子层,由于第二子层的电阻率高于第一子层,迫使电流优先在第一子层中横向扩展、实现均匀分布,并继续进入有源区,实现电流的扩展增强。

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作者:情报员