国家知识产权局信息显示,昆明广瑞达特种气体有限责任公司申请一项名为“一种高纯磷烷的精馏纯化工艺”的专利,公开号CN122540818A,申请日期为2026年5月。

专利摘要显示,本发明公开一种高纯磷烷精馏纯化工艺,涉及纯化技术领域,该工艺依次包含前置预处理、核心深度纯化及后置保障三大模块,前置模块通过三级深冷、改性活性炭吸附脱除粗磷烷中大部分水、硫杂质及轻组分;核心模块采用193nm ArF准分子激光解离砷烷、专用金属有机框架材料吸附及非蒸散型吸气剂联用,实现痕量杂质深度脱除;后置模块通过在线监测与PLC自适应闭环控制,保障工艺稳定性。工艺可产出7N-8N级高纯磷烷,砷烷等关键杂质含量达标,收率≥95%,适用于规模化生产,助力电子特气国产化。

天眼查资料显示,昆明广瑞达特种气体有限责任公司,成立于2005年,位于昆明市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析,昆明广瑞达特种气体有限责任公司参与招投标项目52次,专利信息10条,此外企业还拥有行政许可9个。

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本文源自:市场资讯

作者:情报员