投资者提问:在半导体先进制程(如EUV光刻、刻蚀)中,晶圆制造设备内部存在...
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来源:问董秘
投资者提问:
在半导体先进制程(如EUV光刻、刻蚀)中,晶圆制造设备内部存在强电磁干扰和极端环境,传统电子传感器极易失效。请问公司这项基于光纤声波传感的振动事件识别技术,能否转化为半导体设备内部的“光纤麦克风”,通过捕捉极微小的机械振动或异常声波,实现对精密零部件磨损或晶圆传输异常的提前预警?
董秘回答(理工光科SZ300557):
您好,当前阶段,公司光纤传感技术主要面向大交通、大能源行业运用。感谢您的关注!
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