国家知识产权局信息显示，卡尔蔡司显微镜有限责任公司申请一项名为“用于操作粒子束系统的方法以及粒子束系统”的专利，公开号CN122552408A，申请日期为2026年2月。

专利摘要显示，一种用于操作粒子束系统的方法，包括第一操作模式和第二操作模式。第一操作模式包括：使用粒子束系统的涡轮分子泵将气体从粒子束系统的真空空间抽除到粒子束系统的缓冲空间中，并且使用粒子束系统的前级泵抽除缓冲空间中的气体。第二操作模式包括：使用涡轮分子泵将气体从真空空间抽除到缓冲空间中，其中，停止使用前级泵抽除缓冲空间中的气体；以及当停止使用前级泵抽除缓冲空间中的气体时，记录表征向涡轮分子泵供应工作电流的变量的值，并且如果所记录的变量满足预定的第一标准，则切换到第一操作模式。

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作者：情报员