国家知识产权局信息显示,上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“激光开槽方法”的专利,公开号CN122538988A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本发明提供了一种激光开槽方法,包括:将完整的激光开槽过程划分为若干个子区间;依次对每个所述子区间进行激光开槽,每完成一个所述子区间的激光开槽后,将激光焦点向槽底方向调整特定距离,然后再进行下一个所述子区间的激光开槽;重复上述步骤,直至完成整个激光开槽过程。本发明可以从根本上避免因槽深不断增加而导致的离焦问题,确保激光能量始终以高密度、高均匀性的方式作用于加工面,从而开出侧壁高锥度的槽型,改善槽底平整度。
天眼查资料显示,上海华力集成电路制造有限公司,成立于2016年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2102次,专利信息2878条,此外企业还拥有行政许可550个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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