国家知识产权局信息显示,上海车仪田科技有限公司申请一项名为“具有可变配置能量分析器的质谱装置及其控制方法”的专利,公开号CN122552425A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本发明涉及半导体检测技术领域,公开了一种具有可变配置能量分析器的质谱装置及其控制方法。本发明通过可变狭缝机构、电极系统和工作方式切换控制器之间的配合,使同一台质谱装置能够在宽能量采集、高灵敏度和窄通带、高能量分辨的两种工作方式之间灵活切换,解决现有固定参数能量分析器无法兼顾不同分析任务需求的矛盾。通过预存储目标工作方式参数组和并行控制策略,使所有工作方式下的参数都提前计算并校准好,在切换工作方式时直接调用,无需实时计算;同时对狭缝宽度、各个电极的输出电压和离子源组件的工作状态同时调整,从而有效降低工作方式切换的时间,使得工作方式切换时间可控制在设定时间以内,满足工艺过程中在线实时切换的需求。
天眼查资料显示,上海车仪田科技有限公司,成立于2022年,位于上海市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本319.4745万人民币。通过天眼查大数据分析,上海车仪田科技有限公司共对外投资了3家企业,财产线索方面有商标信息2条,专利信息128条,此外企业还拥有行政许可3个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
热门跟贴