国家知识产权局信息显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司申请一项名为“关键尺寸量测机台的派工控制方法及系统和可读存储介质”的专利,公开号CN122555434A,申请日期为2025年2月。

专利摘要显示,本发明提供一种关键尺寸量测机台派工控制方法及系统和可读存储介质,在关键尺寸量测机台利用相应量测配方对晶圆进行关键尺寸量测时,给晶圆打上与该量测配方相关联的量测标记,并对新到达此站点的晶圆进行校验,以判断当前到达此站点的各片晶圆中是否有已被打上量测标记的晶圆,以及,判断所述已被打上的量测标记的晶圆所关联的历史量测配方与当前量测配方是否存在重叠或相同的量测位置,进而避免出现同一晶圆先后多次进入关键尺寸量测机台站点时其同一量测位置被重复量测的情况,避免了关键尺寸量测机台多次量测晶圆的同一量测位置导致该量测位置因受损严重而出现关键尺寸值异常问题,由此提高了后续的晶圆加工工艺的效果。

天眼查资料显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司,成立于2018年,位于青岛市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析,芯恩(青岛)集成电路有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目194次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息1106条,此外企业还拥有行政许可57个。

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作者:情报员