来源：新浪基金∞工作室

8月13日，科创半导体设备ETF鹏华（589020）开盘涨1.66%，报1.285元。科创半导体设备ETF鹏华（589020）重仓股方面，华海清科开盘涨0.98%，中微公司涨1.85%，中科飞测涨1.67%，拓荆科技涨1.99%，华峰测控涨1.41%，芯源微涨1.77%，沪硅产业涨1.49%，盛美上海涨1.88%，安集科技涨1.85%，富创精密涨2.00%。

科创半导体设备ETF鹏华（589020）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率，管理人为鹏华基金管理有限公司，基金经理为林嵩，成立（2025-08-27）以来回报为153.04%，近一个月回报为-17.50%。