国家知识产权局信息显示,卡尔蔡司显微镜有限责任公司申请一项名为“用于操作粒子束系统的方法以及粒子束系统”的专利,公开号CN122552409A,申请日期为2026年2月。
专利摘要显示,一种用于操作粒子束系统的方法,包括:在第一操作模式下,对样品空间进行抽气;通过共用高电压源操作第一离子吸气泵和第二离子吸气泵来对源空间和中间真空空间进行抽气;测量从高电压源供应到第一离子吸气泵和第二离子吸气泵的电流并且基于测得的电流来确定中间真空空间中的压力。该方法包括:在第二操作模式下,对样品空间进行抽气;在不通过高电压源操作第二离子吸气泵的情况下,通过高电压源操作第一离子吸气泵以便对源空间进行抽气;测量从高电压源供应到第一离子吸气泵的电流并且基于测得的电流来确定源空间中的压力。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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