国家知识产权局信息显示，山西中电科电子装备有限公司取得一项名为“一种碳化硅沉积炉用真空管路分气组件”的专利，授权公告号CN224633551U，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种碳化硅沉积炉用真空管路分气组件，涉及高温工业电炉技术领域；包括管道和多孔板，管道的一侧沿其轴向均匀连接有多个进气管，在管道的另一侧连接有抽气管；在管道内设置有多孔板，多孔板上面均匀开有小孔；多孔板沿着管道的轴向设置，多孔板位于进气管与抽气管之间；进气管与碳化硅沉积炉的炉壁相连接并与碳化硅沉积炉相连通；抽气管与真空管路相连接，真空管路的另一端与真空泵组相连接；本实用新型保障碳化硅沉积炉沉积过程中炉体内气体可以被均匀的从各管路中顺利抽出；解决碳化硅沉积炉在抽真空过程中气体流量不一致，以及管路过热导致的真空泵工作效率降低的问题。

天眼查资料显示，山西中电科电子装备有限公司，成立于2010年，位于太原市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本39040万人民币。通过天眼查大数据分析，山西中电科电子装备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目87次，专利信息194条，此外企业还拥有行政许可9个。

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作者：情报员