国家知识产权局信息显示,硅电子股份公司申请一项名为“用于生产掺杂有n型掺杂剂的硅单晶的方法和设备”的专利,公开号CN122564755A,申请日期为2020年12月。

专利摘要显示,本发明提供一种用于生产掺杂有n型掺杂剂硅单晶的方法和设备,该硅单晶具有圆柱形部分,在该圆柱形部分中电阻率不大于2毫欧姆厘米,该方法包括通过CZ法从包含在坩埚中的熔体提拉单晶。该方法还包括在提拉单晶的圆柱形部分的过程中,向熔体的表面提供气流,该气流包括气态掺杂剂,其中将管道系统中的气流引导到提拉腔室内,并穿过围绕生长的单晶的隔热罩,或沿着隔热罩的外表面,到达隔热罩的下端处的环形通道,并从那里通过喷嘴至熔体的表面。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

本文源自:市场资讯

作者:情报员