来源：问董秘

投资者提问：

公司DIW超纯水设备中，臭氧超纯水设备、二氧化碳超纯水设备、氨水超纯水设备各自的主要功能及使用场景有何不同？

董秘回答(国林科技SZ300786)：

尊敬的投资者，您好。高浓度臭氧水发生器可替代传统SC1/SC2化学清洗药液，用于晶圆表面颗粒杂质、金属离子、原生氧化层、有机污染物剥离清洗，减少化学药剂及危废排放，适配先进制程低污染清洗需求；二氧化碳水发生器可抑制静电产生，消除硅屑静电吸附，避免静电损伤与微粒吸附，可应用于封测、显示、光伏硅片加工产线；氨水发生器可应用于晶圆颗粒清洗、氧化层调控制成，适配芯片、先进封装、功率半导体各类湿法产线。感谢您的关注。

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