国家知识产权局信息显示,上海新昇半导体科技有限公司申请一项名为“一种游星轮”的专利,公开号CN122559883A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本申请提供一种游星轮,属于半导体制造技术领域。该游星轮包括:轮盘本体、至少一个工件孔和内衬;工件孔贯穿轮盘本体;内衬沿工件孔的内侧壁设置;其中,工件孔的内侧壁与内衬的外侧壁的接触面之间设置有限位结构,限位结构用于限制内衬沿工件孔的轴向及径向移动。该游星轮在抛光过程中可防止内衬受挤压而产生轴向翘起或下沉,确保内衬与轮盘本体在厚度方向上共面,保持表面平坦一致性,从而使硅片边缘受力均匀,提升边缘几何参数的均匀性。
天眼查资料显示,上海新昇半导体科技有限公司,成立于2014年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本238000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海新昇半导体科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目2114次,财产线索方面有商标信息14条,专利信息793条,此外企业还拥有行政许可241个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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