国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“衬底基座组件”的专利，公开号CN122564516A，申请日期为2026年2月。

专利摘要显示，公开了可用于各种应用的基座组件。示例性基座组件包括具有形成于其中的一个或多个冷却通道的底板、覆盖底板的电隔离板、覆盖电隔离板的加热器板以及覆盖加热器板的顶板。加热器板可以配置为等离子体功率电极。

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作者：情报员