国家知识产权局信息显示,西安奕斯伟材料科技股份有限公司申请一项名为“晶圆边缘磨轮的设计参数确定方法、设备及介质”的专利,公开号CN122571809A,申请日期为2026年5月。
专利摘要显示,本公开提供了一种晶圆边缘磨轮的设计参数确定方法、设备及介质,方法包括:获取晶圆边缘轮廓的几何参数目标值以及测量工具的预设参数偏差与晶圆边缘轮廓的测量误差之间的映射关系,测量工具用于根据预设参数测量晶圆边缘轮廓的几何参数测量值;基于几何参数目标值、预设参数以及映射关系,对初始磨轮设计参数进行补偿,以确定晶圆边缘磨轮的目标磨轮设计参数,应用本公开实施例,通过预先建立测量工具的预设参数偏差与测量误差的映射关系,将测量工具引入的系统性误差从加工误差中解耦,能够实现磨轮设计参数的精准补偿,从而避免因测量工具误报而导致磨轮规格的频繁调整。
天眼查资料显示,西安奕斯伟材料科技股份有限公司,成立于2016年,位于西安市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本403780万人民币。通过天眼查大数据分析,西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目13次,专利信息1635条,此外企业还拥有行政许可24个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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