国家知识产权局信息显示，上海车仪田科技有限公司申请一项名为“前驱体脉冲剂量控制方法、装置、设备及存储介质”的专利，公开号CN122588538A，申请日期为2026年7月。

专利摘要显示，本发明涉及原子层沉积技术领域，公开了一种前驱体脉冲剂量控制方法、装置、设备及存储介质，方法包括：在原子层沉积工艺的当前脉冲注入周期内，实时检测预设测量点的当前压力信号；根据当前压力信号调节第一供气控制参数，以对当前脉冲注入周期注入反应腔的前驱体脉冲剂量偏差进行前馈补偿；获取在当前脉冲注入周期注入反应腔的实际前驱体脉冲剂量，并获取实际前驱体脉冲剂量与目标前驱体脉冲剂量之间的当前脉冲剂量误差；响应于当前脉冲剂量误差的绝对值大于预设误差阈值，根据当前脉冲剂量误差调节第二供气控制参数，以对前馈补偿后的残余脉冲剂量偏差进行反馈补偿；执行下一个脉冲注入周期的前驱体脉冲注入和补偿，直至原子层沉积工艺完成。

天眼查资料显示，上海车仪田科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本319.4745万人民币。通过天眼查大数据分析，上海车仪田科技有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息2条，专利信息130条，此外企业还拥有行政许可3个。

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作者：情报员