国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种承载舟及半导体热处理设备”的专利,公开号CN122602815A,申请日期为2025年2月。

专利摘要显示,本申请公开一种承载舟及半导体热处理设备,所公开的承载舟包括舟本体和测温装置,舟本体具有多个层叠设置的晶圆放置位,晶圆放置位可用于放置晶圆;测温装置包括安装板和测温主体,测温主体包括传输导线和多个温度探头,多个温度探头间隔设置于传输导线上。安装板设置在晶圆放置位上,测温主体布设于安装板,以在安装板上形成多个测温点。采用上述的测温装置,由于多个测温点可以直接对晶圆表面进行温度测量,从而可以准确反应晶圆表面的温度;并且,多个测温点中的一者位于晶圆放置位的中心区域,可以直接获取晶圆中心区域的温度,进一步提升了晶圆表面温度测量的准确性,进而可以提升晶圆表面温度的控制精度,有利于提升晶圆的良率。

天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目1477次,财产线索方面有商标信息75条,专利信息5900条,此外企业还拥有行政许可340个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

本文源自:市场资讯

作者:情报员