国家知识产权局信息显示,纳克微束(北京)有限公司申请一项名为“一种通用电子束斑多维分辨率联合评价方法及系统”的专利,公开号CN122595606A,申请日期为2026年6月。

专利摘要显示,本发明公开一种通用电子束斑多维分辨率联合评价方法及系统,该方法包括:获取电子束斑在目标平面处的横向强度分布数据,并进行预处理和归一化处理;基于处理后的横向强度分布数据,计算束流积分达到50%时对应的束斑尺寸以及强度分布在峰值强度50%处的全宽;基于处理后的横向强度分布数据或其等效信号响应曲线,分别计算表征工程成像响应特性的工程响应宽度;基于得到的多维指标,构建分辨率向量,并计算指标间不一致性系数,完成电子束斑综合评价。本发明以电子束斑横向强度分布为统一数据源,并行提取物理束斑参数与工程响应参数,通过联合分析与不一致性量化,实现电子束斑性能全面、客观、可对比的定量评价。

天眼查资料显示,纳克微束(北京)有限公司,成立于2022年,位于北京市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,纳克微束(北京)有限公司参与招投标项目13次,专利信息37条,此外企业还拥有行政许可2个。

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作者:情报员