国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“确定操作数据的方法、计算机程序和光刻设备”的专利，公开号CN122603310A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本文公开了一种计算机系统，该计算机系统被配置为执行确定光刻设备的控制系统的操作数据的方法，该方法包括：确定用于在衬底上执行曝光过程的初始操作数据；重复地改变初始操作数据并确定经改变的操作数据的一个或多个性能度量，以便确定改进一个或多个性能度量的对初始操作数据的改变；以及使用具有所施加的改变的操作数据，以便改进性能度量中的一个或多个；其中：操作数据包括用于执行曝光过程的衬底的路线和衬底沿着路线的移动；以及对所述操作数据的所施加的改变包括对路线的改变和/或对衬底沿着路线的部分的加速度的改变。

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作者：情报员