国家知识产权局信息显示,上海华虹宏力半导体制造有限公司;华虹半导体(无锡)有限公司申请一项名为“半导体器件的形成方法”的专利,公开号CN122602842A,申请日期为2026年5月。
专利摘要显示,本发明涉及半导体技术领域,提供了一种半导体器件的形成方法,包括:提供SOI晶圆;在顶层硅的顶面和底层硅的底面同时形成非掺杂栅多晶硅层,以露出底层硅的底面;去除底层硅底面的非掺杂栅多晶硅层;通入氧气对底层硅进行氧化工艺,以释放底层硅的应力,提高底层硅底面的粗糙度和平面度;使用静电吸盘吸附底层硅的底面,以进行半导体器件的剩余工艺。本发明提高了静电吸盘对底层硅底面的吸附力。
天眼查资料显示,上海华虹宏力半导体制造有限公司,成立于2013年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2046092.7759万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华虹宏力半导体制造有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目931次,财产线索方面有商标信息39条,专利信息7896条,此外企业还拥有行政许可464个。
华虹半导体(无锡)有限公司,成立于2017年,位于无锡市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本253685.180069万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体(无锡)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目2950次,专利信息2098条,此外企业还拥有行政许可119个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
热门跟贴