来源：新浪基金∞工作室

8月18日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）收盘涨2.28%，成交额11.87亿元。

科创半导体设备ETF鹏华（589020）成立于2025年8月27日，基金全称为鹏华上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为鹏华科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。科创半导体设备ETF鹏华（589020）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率。

规模方面，截止8月17日，科创半导体设备ETF鹏华（589020）最新份额为40.64亿份，最新规模为53.29亿元。回顾2025年12月31日，科创半导体设备ETF鹏华（589020）份额为2.44亿份，规模为2.97亿元。即该基金今年以来份额增加1564.26%，规模增加1695.01%。

流动性方面，截止8月18日，科创半导体设备ETF鹏华（589020）近20个交易日累计成交金额296.34亿元，日均成交金额14.82亿元。

科创半导体设备ETF鹏华（589020）现任基金经理为林嵩。林嵩自2025年8月27日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益162.22%。

最新定期报告显示，科创半导体设备ETF鹏华（589020）重仓股包括华海清科、中微公司、中科飞测、拓荆科技、华峰测控、芯源微、沪硅产业、盛美上海、安集科技、富创精密，持仓占比如下。

股票代码股票名称持仓占比持仓股数（股）持仓市值（元）688120华海清科10.54%86.78万2.80亿688012中微公司9.95%56.34万2.64亿688361中科飞测8.69%53.62万2.31亿688072拓荆科技6.54%20.86万1.74亿688200华峰测控5.92%29.92万1.57亿688037芯源微5.74%34.69万1.52亿688126沪硅产业5.44%361.45万1.44亿688082盛美上海5.13%31.49万1.36亿688019安集科技5.05%39.43万1.34亿688409富创精密4.63%40.10万1.23亿