国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“无线特性测量”的专利，公开号CN122603403A，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本文公开的实施方式包括用于感测腔室内等离子体状况的设备。在一实施方式中，所述设备包括外壳，所述外壳表面上具有等离子体传感器。在一实施方式中，所述设备进一步包括在所述外壳内且电耦合到所述等离子体传感器的计算系统。在一实施方式中，所述计算系统包括电池、板、所述板上的处理单元及耦合到所述处理单元的内存。在一实施方式中，无线通信模块可耦合到所述处理单元。

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作者：情报员