国家知识产权局信息显示，瀚天天成电子科技（厦门）股份有限公司取得一项名为“一种应用于水平外延腔体有气浮尾气流出引导通道的石墨大盘”的专利，授权公告号CN224647156U，申请日期为2025年7月。

专利摘要显示，本实用新型属于半导体外延生长设备技术领域，公开了一种应用于水平外延腔体有气浮尾气流出引导通道的石墨大盘，包括石墨大盘本体，所述石墨大盘本体上设有旋转基座盘，所述旋转基座盘用于放置装载碳化硅衬底的石墨小盘，所述石墨大盘本体内部设有气浮尾气流出引导通道，所述气浮尾气流出引导通道的入口与气浮吹出孔相连通，所述气浮尾气流出引导通道的出口与外延腔体的尾气端负压抽离装置相连通。本实用新型增加了气浮尾气流出引导通道，使气浮气体完成气浮功能后与生长源气汇合前被尾气端负压抽离外延腔体，减少了气浮气体中颗粒物在通道内堆积情况，减少气浮气体对外延片表面的吹扫影响，同时有效改善了外延片的边缘粗糙度，并提高了浓度均匀性以及表面良率。

天眼查资料显示，瀚天天成电子科技（厦门）股份有限公司，成立于2011年，位于厦门市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本40409.276万人民币。通过天眼查大数据分析，瀚天天成电子科技（厦门）股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目59次，财产线索方面有商标信息20条，专利信息71条，此外企业还拥有行政许可70个。

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作者：情报员