国家知识产权局信息显示,三星显示有限公司申请一项名为“平整度检查装置及平整度检查方法”的专利,公开号CN122590768A,申请日期为2026年1月。
专利摘要显示,本公开提供了平整度检查装置和平整度检查方法。平整度检查装置包括具有第一检查位置和第二检查位置的检查台。第二检查位置在第一方向上面对第一检查位置。平整度检查装置还包括具有旋转轴的非接触式光学系统,该旋转轴在由第一方向和与第一方向相交的第二方向限定的平面图中位于第一检查位置和第二检查位置之间。非接触式光学系统配置为检查在第一检查位置处的第一检查对象的第一检查表面的形状,并且检查在第二检查位置处的第二检查对象的第二检查表面的形状。平整度检查装置还包括使非接触式光学系统围绕旋转轴旋转的第一旋转器。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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