国家知识产权局信息显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请一项名为“基于闭环反馈刷压的基板刷洗装置”的专利，公开号CN122583272A，申请日期为2026年5月。

专利摘要显示，本发明属于基板清洗处理装置技术领域，具体地说是一种基于闭环反馈刷压的基板刷洗装置，包括主安装板、升降驱动件、升降传动结构、升降基架、旋转驱动件、旋转传动结构、导电滑环、压力传感器、毛刷连接轴、毛刷组件、压力传感器保护套筒、抵触弹性件。本发明的基于闭环反馈刷压的基板刷洗装置，可以对刷洗过程进行实时闭环力控，在毛刷组件高度发生波动时，根据压力传感器读取数值对力的波动进行实时调节，有效保证毛刷组件对基板的压力保持稳定和准确，对于毛刷压力的刷压精度的控制能力更高，能够更好地满足目前高制程基板清洗的需求。本发明的基于闭环反馈刷压的基板刷洗装置的集成度、稳定性与可靠性高，便于拆装维护，减少占据空间。

天眼查资料显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司，成立于2002年，位于沈阳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本20162.7296万人民币。通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目367次，财产线索方面有商标信息36条，专利信息705条，此外企业还拥有行政许可71个。

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作者：情报员