国家知识产权局信息显示,珠海智锐封装技术有限公司申请一项名为“一种载板刻蚀方法及载板刻蚀装置”的专利,公开号CN122602394A,申请日期为2026年7月。

专利摘要显示,本申请涉及刻蚀装置技术领域,尤其涉及一种载板刻蚀方法及载板刻蚀装置。其技术方案包括输送装置和安装于其上方的喷淋系统。喷淋系统包含多组沿载板移动方向依次布置的局部喷淋模块,每组模块包括安装箱、设于安装箱两侧且在载板表面形成密封的密封机构、多个蚀刻喷头、导流喷头以及回收机构。密封机构将安装箱与载板之间限定出密闭刻蚀区域,导流喷头朝向该区域另一侧吹出气流,使蚀刻液定向流动,回收机构则将流动至该侧的蚀刻液回收。本装置将大面积喷淋分解为多段独立可控的局部刻蚀,防止蚀刻液横向无规则扩散及浓度衰减造成的刻蚀不均匀,同时提高了蚀刻液交换速率和刻蚀效率,并可实现废液及时回收,减少污染与消耗。

天眼查资料显示,珠海智锐封装技术有限公司,成立于2025年,位于珠海市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本2500万人民币。通过天眼查大数据分析,珠海智锐封装技术有限公司拥有行政许可3个。

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作者:情报员