国家知识产权局信息显示,华虹半导体(无锡)有限公司;华虹半导体制造(无锡)有限公司申请一项名为“半导体器件的制造方法”的专利,公开号CN122602526A,申请日期为2026年4月。
专利摘要显示,本发明提供一种半导体器件的制造方法。该方法包括:提供半导体衬底,在所述半导体衬底上形成层间介质层,形成贯穿所述层间介质层并延伸至所述半导体衬底中的接触孔;在所述接触孔的侧壁和底部形成阻挡层;去除所述接触孔底部的所述阻挡层,保留所述接触孔侧壁的所述阻挡层;以所述接触孔侧壁的所述阻挡层为掩膜,进行离子注入以及退火处理;去除所述接触孔侧壁的所述阻挡层。本发明通过在接触孔侧壁保留阻挡层作为离子注入的掩膜,有效减小了接触孔离子注入对相邻沟道区域的影响,改善了器件阈值电压的发散问题,缩小了阈值电压的分布范围,提升了器件良率及稳定性。
天眼查资料显示,华虹半导体(无锡)有限公司,成立于2017年,位于无锡市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本253685.180069万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体(无锡)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目2950次,专利信息2107条,此外企业还拥有行政许可119个。
华虹半导体制造(无锡)有限公司,成立于2022年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本402000万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体制造(无锡)有限公司参与招投标项目378次,专利信息253条,此外企业还拥有行政许可233个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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