国家知识产权局信息显示，矽电半导体设备（深圳）股份有限公司申请一项名为“载片台驱动装置及方法”的专利，公开号CN122600770A，申请日期为2026年4月。

专利摘要显示，本发明提出载片台驱动装置及方法，涉及晶圆测试技术领域，载片台驱动装置包括载片台、第一驱动组件和第二驱动组件。载片台具有用于放置晶圆的承载面；第一驱动组件能够驱动晶圆沿第一转动方向，或沿第一转动方向的反向转动，第一转动方向的转动轴线垂直于承载面；第二驱动组件包括压电陶瓷，压电陶瓷包括相连接的固定部和压电驱动部，压电驱动部传动连接于载片台，并能够朝远离固定部的方向伸长，以驱动载片台沿第一转动方向转动。本发明还提出一种使用上述载片台驱动装置执行的载片台驱动方法。本发明实施例中的载片台驱动装置及方法，能够充分利用压电陶瓷伸长特性的高精度实现晶圆更高的定位精度。

天眼查资料显示，矽电半导体设备（深圳）股份有限公司，成立于2003年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本4172.7274万人民币。通过天眼查大数据分析，矽电半导体设备（深圳）股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目95次，财产线索方面有商标信息30条，专利信息479条，此外企业还拥有行政许可17个。

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作者：情报员