国家知识产权局信息显示,江西维易科半导体科技有限公司申请一项名为“一种涂胶显影设备及其控制方法”的专利,公开号CN122592730A,申请日期为2026年4月。

专利摘要显示,本申请涉及半导体设备技术领域,尤其是涉及一种涂胶显影设备及其控制方法,方法包括获取设备各启用工艺单元加工进度、各温控单元运行状态及转运机构运行数据,预处理得到全工位状态数据集;基于该数据集确定各单元工序截止节点,进而确定转运任务优先级,经冲突校验及干涉消除得到目标转运执行序列,并确定晶圆到达各温控单元的时间节点戳;结合时间节点戳与温控单元当前状态,确定运行模式切换策略并生成温控协同控制指令;根据目标转运执行序列生成运动控制指令,同步对齐两类指令时序后输出执行。该方法实现了转运与温控动作的协同,在保证涂胶显影的工艺质量前提下,提升设备加工效率,减少电能无效损耗。

天眼查资料显示,江西维易科半导体科技有限公司,成立于2022年,位于上饶市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,江西维易科半导体科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目18次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息33条,此外企业还拥有行政许可5个。

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作者:情报员