国家知识产权局信息显示,杭州广立微电子股份有限公司申请一项名为“一种监测有源区工艺均匀性的测试结构和测试方法”的专利,公开号CN122592733A,申请日期为2026年4月。
专利摘要显示,本申请提供一种测有源区工艺均匀性的测试结构和测试方法,测试结构中,第一测试单元包括第一有源区和第一栅极,第一有源区经轻掺杂漏离子注入处理,第一栅极相对于第一有源区具有两个预设偏移方向,沿每一个预设偏移方向,设置至少两个偏移量不同的第一测试单元,第一有源区沿第一栅极偏移方向的一侧接出测试;第二测试单元包括第二有源区和第二栅极,第二有源区经轻掺杂漏离子注入处理,且对第二有源区实施待监测工艺,第二栅极相对于第二有源区具有两个预设偏移方向,且沿每一预设偏移方向,设置至少两个偏移量不同的第二测试单元,第二有源区沿第二栅极偏移方向的一侧接出测试。通过本申请,可以快速判断有源区待监测工艺的均匀性。
天眼查资料显示,杭州广立微电子股份有限公司,成立于2003年,位于杭州市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本20028.1088万人民币。通过天眼查大数据分析,杭州广立微电子股份有限公司共对外投资了20家企业,参与招投标项目52次,财产线索方面有商标信息98条,专利信息269条,此外企业还拥有行政许可58个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
热门跟贴