来源：新浪基金∞工作室

数据显示，8月18日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)获净申购5.61亿元，位居当日股票ETF净流入排名2/1297。最新规模436.64亿元，前一日规模420.56亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为1.33%。

近5日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)获净申购8.24亿元，位居股票ETF净流入排名第3/1297。近10日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)遭净赎回36.8亿元，位居股票ETF净流出排名第8/1297。近20日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)获净申购101.94亿元，位居股票ETF净流入排名第1/1297。

华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）成立于2025年3月24日，基金全称为华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）跟踪标的指数为科创半导体材料设备（950125）。

规模方面，截止8月18日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）最新份额为395.61亿份，最新规模为436.64亿元。回顾2025年12月31日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）份额为24.47亿份，规模为36.77亿元。即该基金今年以来份额增加1516.63%，规模增加1087.38%。

流动性方面，截止8月18日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）近20个交易日累计成交金额1736.04亿元，日均成交金额86.8亿元；今年以来，151个交易日，累计成交金额4564.52亿元，日均成交金额30.23亿元。

华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）现任基金经理为杨斯琪、荣膺。杨斯琪自2025年3月24日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益231.11%；荣膺自2026年6月22日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益2.95%。

最新定期报告显示，华夏基金（588170）重仓股包括华海清科、中微公司、中科飞测、拓荆科技、华峰测控、芯源微、沪硅产业、盛美上海、安集科技、富创精密，持仓占比如下：

股票代码股票名称持仓占比持仓股数（股）持仓市值（元）688120华海清科10.62%799.09万25.74亿688012中微公司10.06%521.80万24.39亿688361中科飞测8.89%500.98万21.54亿688072拓荆科技6.80%197.93万16.47亿688200华峰测控6.19%285.83万15.01亿688037芯源微5.95%328.58万14.43亿688126沪硅产业5.55%3370.96万13.45亿688082盛美上海5.25%294.55万12.72亿688019安集科技5.20%371.39万12.61亿688409富创精密4.73%374.01万11.45亿

跟踪科创半导体材料设备（950125）的ETF包括华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）、华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）、鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

代码名称基金规模(亿元)
20260818近1月日均成交额
(亿元)净申购(亿元)
20260818近1周净申购
(亿元)近1月净申购
(亿元)基金公司588170华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF436.6486.235.618.2499.78华夏基金588710华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF122.8721.932.690.0636.09华泰柏瑞基金589020鹏华科创板半导体材料设备主题ETF55.5614.560.95-1.1616.68鹏华基金