国家知识产权局信息显示，浙江启尔机电技术有限公司申请一项名为“用于光刻机镜组腔内压力与温度协同控制的系统及方法”的专利，公开号CN122592748A，申请日期为2026年7月。

专利摘要显示，用于光刻机镜组腔内压力与温度协同控制的系统及方法，属于精密光学环境控制技术领域。本发明的系统包括镜组腔室、供气支路、第一质量流量控制器、驱动气体支路、第二质量流量控制器、文丘里真空发生装置、温度调节单元、温度检测单元、压力检测单元、总控制器以及PCW冷却水支路；总控制器分别与第一质量流量控制器、第二质量流量控制器、温度调节单元、温度检测单元、压力检测单元及PCW冷却水支路连接，并通过控制驱动气体支路和温度调节单元来协同控制镜组腔室内压力与温度。本发明能够有效降低压力波动，提高调节响应速度，同时减弱压力调节与温度调节之间的耦合干扰。

天眼查资料显示，浙江启尔机电技术有限公司，成立于2013年，位于杭州市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本3055.555877万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江启尔机电技术有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目17次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息132条，此外企业还拥有行政许可8个。

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作者：情报员