来源：新浪基金∞工作室

8月20日，科创半导体设备ETF华泰柏瑞（588710）开盘涨1.23%，报1.070元。科创半导体设备ETF华泰柏瑞（588710）重仓股方面，华海清科开盘涨1.27%，中微公司涨0.81%，中科飞测涨2.00%，拓荆科技涨1.45%，华峰测控涨0.84%，芯源微涨2.41%，沪硅产业跌1.31%，安集科技涨3.19%，盛美上海涨1.37%，富创精密涨1.39%。

科创半导体设备ETF华泰柏瑞（588710）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率，管理人为华泰柏瑞基金管理有限公司，基金经理为李沐阳，成立（2025-05-26）以来回报为216.89%，近一个月回报为5.58%。