国家知识产权局信息显示,天虹科技股份有限公司申请一项名为“键合机台的压合机构”的专利,公开号CN122622609A,申请日期为2026年6月。

专利摘要显示,本发明为一种键合机台压合机构,主要包括一下压合装置及一上压合装置。上压合装置及下压合装置包括层叠设置的一安装部、一隔热板、一加热板、一均温板及一压合板,并可均匀地加热两者之间层叠设置的晶圆、胶体及基板,使得晶圆可以平整的贴附在基板上。此外,下压合装置的下压板还包括至少一冷却通道,可将一冷却流体输送至冷却通道,使得下压板可以快速降低键合后的晶圆、胶体及基板的温度,以提高键合制造的效率。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

本文源自:市场资讯

作者:情报员