国家知识产权局信息显示，布鲁克斯自动化(德国)有限公司申请一项名为“用于存储掩模版的储料器系统、相应的存储储料器及用于从掩膜版盒的堆叠体中取出掩膜版盒或掩膜版或用于将其存储于其中的方法和装置”的专利，公开号CN122623161A，申请日期为2024年10月。

专利摘要显示，本发明涉及一种用于存储多个掩模版（150）、特别是EUV掩模版的储料器系统（100）。该储料器系统（100）包括多个存储盒（111,112,113），每个存储盒适配为将其中的一个掩模版（150）保持在其内部，并沿竖直方向（V）彼此堆叠以提供堆叠体（110），每个存储盒（111,112,113）设有布置在存储盒（111,112,113）沿第一水平方向（H1）的相对两侧上的两个操作构件（120），并且每个操作构件（120）设有操作构件接合特征（121）。储料器系统（100）还包括两个设有多个保持构件（210）的保持结构（200），每个保持构件（210）设有适配为与对应的操作构件接合特征（121）接合的保持构件接合件（211），其中，保持结构（200）布置为使得当保持结构（200）与该多个存储盒（111,112,113）接合时，该多个存储盒（111,112,113）在第一水平方向上的移动被保持结构（200）防止，并且该多个存储盒（111,112,113）在基本上垂直于第一水平方向（H1）的第二水平方向上的移动被操作构件接合特征（121）与保持构件接合件（211）的接合所防止。本发明还涉及存储储料器、用于从包括多个存储盒的堆叠体（110）中取出第一存储盒（111）的方法和装置、用于从包括多个存储盒的堆叠体（110）中取出掩模版（150）的方法和装置以及存储盒（111,112,113）。

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作者：情报员