国家知识产权局信息显示,浙江摩鼎纳米科技有限公司取得一项名为“金属离子电物理清洗装置”的专利,授权公告号CN224662986U,申请日期为2025年8月。
专利摘要显示,本实用新型涉及电物理清洗技术领域,并公开了金属离子电物理清洗装置,包括真空箱,所述真空箱的内侧设有若干圆柱状靶材,所述真空箱的内底面设有基片架,所述真空箱上设有用于通入惰性气体的进气管,所述真空箱的顶部固定有支架,所述进气管的顶端穿过支架,且进气管外壁与支架相固定,所述真空箱的内部设有分流组件,所述分流组件与进气管连通设置。本方案通过设置气体分流与动态分布结构,有效解决了传统磁控溅射清洗中气体分布不均、清洗效果不稳定、清洗与沉积一致性差等关键问题,不仅提升了清洗效率以及后续的镀膜质量,还增强了设备的稳定性和适应性,具有显著的技术优势和应用前景。
天眼查资料显示,浙江摩鼎纳米科技有限公司,成立于2006年,位于杭州市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江摩鼎纳米科技有限公司参与招投标项目2次,专利信息23条,此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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