森东宝 CT‑6 非真空高低温探针台是一款功能齐全、兼容性强的测试探针台，可适配多种规格样品，覆盖直流测试、射频测试等多元化测试应用需求。

设备采用密闭腔室结构，既能有效屏蔽外部电磁干扰，还可营造氮气正压环境，保障样品在低温测试工况下不会产生结霜问题，解决高低温测试中样品凝露的行业痛点。整机机械结构稳固可靠，人机操作便捷，集成密闭腔室、高低温卡盘、样品台位移、显微镜位移、样品台升降、样品台旋转、针座平台升降、显微镜倾仰等丰富功能模块，极大简化测试操作流程。

产品采用龙门架结构设计，支持金相显微镜、体式显微镜等多种显微镜灵活换装，同时保障显微镜高精度移动，方便实验人员清晰观测样品状态；搭配针座平台升降机构，优化探针调试操作流程，有效提升整体测试效率，可广泛应用于功率半导体、光电子器件、射频器件、新材料等领域的研发测试工作。

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核心技术参数

台体部分

  • Chuck 尺寸：6 英寸
  • 样品台抽拉：快速抽拉
  • 样品台旋转：可 360° 旋转，可微调 15°，精度 0.1°，带角度锁死装置
  • 样品固定方式：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环
  • 样品台 Z 轴升降：可升降 8mm
  • X‑Y 移动行程：6 英寸 ×6 英寸
  • X‑Y 移动精度：5μm
  • 针座平台：针座平台快速升降行程 5mm，带锁死装置
  • 背电极测试：样品台电学独立悬空，4mm 插孔可接背电极（可选项）

显微镜系统

  • 显微镜固定方式：龙门架带 X‑Y 微调，移动范围 2"×2"
  • 显微镜便捷性：含快速倾仰装置，便于更换物镜，带锁死功能气动升降模块（可选）
  • 显微镜类型：单筒显微镜、体式显微镜、金相显微镜
  • 放大倍率：0.75‑5X 变倍；16X‑100X；20X‑4000X
  • 光源：同轴光源、外置 LED 环形光源
  • CCD：200 万像素（可升级 2000 万像素）

探针座

  • X‑Y‑Z 移动行程：12mm12mm12mm /20mm20mm20mm
  • 移动精度：10μm/2μm/0.7μm/0.5μm
  • 吸附方式：磁力吸附 / 真空吸附

探针夹具

  • 线缆：同轴线 / 三轴线 / 射频线
  • 漏电精度：10pA/100fA/10fA
  • 固定探针：弹簧固定 / 管状固定 / 爪式固定
  • 接头类型：BNC / 三轴 / 香蕉头 / 鳄鱼夹 / 接线端子 / 射频接口

探针

  • DC 针尖直径：1μm/2μm/5μm/10μm/20μm/50μm/100μm
  • RF 探针频率：40GHz/50GHz/67GHz/110GHz/1100GHz
  • 材质：钨钢 / 铍铜 / 镀镍

整机规格

  • 外形尺寸：750W815D650H
  • 重量：约 80 千克

可选附件加热台、镀金卡盘、高压测试配件、防震桌、屏蔽箱、激光系统，可根据客户要求定制。

CT‑6 非真空高低温探针台兼顾硬件性能与操作体验，能够很好的满足高校科研院所、企业研发实验室对于功率器件、光电器件、射频器件的各类测试需求。