国家知识产权局信息显示,华虹半导体(无锡)有限公司申请一项名为“晶圆探针测试探针移动控制方法及系统”的专利,公开号CN122612966A,申请日期为2026年5月。
专利摘要显示,本发明公开了一种晶圆探针测试探针移动控制方法,其用于改善因晶圆翘曲导致的测试针迹偏移,其特征在于,包括以下步骤:1)通过测试机台对晶圆进行多点高度量测,确认晶圆翘曲数据;2)根据晶圆翘曲数据计算针迹偏移补偿值;3)控制台盘沿X、Y、Z方向移动补偿,使晶圆翘曲区域与晶圆中心区域测试针迹相对位置保持一致,完成测试。本发明能解决现有12英寸功率产品晶圆CP测试中,因晶圆翘曲导致测试针迹偏移、接触电阻参数失效的问题,能保证探针与焊盘稳定接触,显著降低接触类失效风险,一次测试通过率大幅提升,减少重复测试与机台占用,有效提升CP测试整体效率,提升测试稳定性。
天眼查资料显示,华虹半导体(无锡)有限公司,成立于2017年,位于无锡市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本253685.180069万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体(无锡)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目2950次,专利信息2107条,此外企业还拥有行政许可119个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
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