国家知识产权局信息显示,中环领先半导体科技股份有限公司申请一项名为“一种改善硅片抛光划伤缺陷的预抛工艺”的专利,公开号CN122606429A,申请日期为2026年4月。

专利摘要显示,本发明提供一种改善硅片抛光划伤缺陷的预抛工艺,用于半导体制造技术领域,包括在进行硅片抛光工艺前,利用双面抛光机和柔性抛光垫在预设压力下对游星片进行修整。本发明利用柔性抛光垫的柔性贴合与微量磨削性能,通过施加预设压力,对新的游星片进行预修整处理,从而有效去除游星片表面及边缘的毛刺、尖角等微观凸起,改善毛刺等凸起在正式抛光过程中掉落而对硅片表面造成划伤缺陷,提高了硅片抛光质量。

天眼查资料显示,中环领先半导体科技股份有限公司,成立于2017年,位于无锡市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本539356.0021万人民币。通过天眼查大数据分析,中环领先半导体科技股份有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目346次,财产线索方面有商标信息10条,专利信息1235条,此外企业还拥有行政许可367个。

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作者:情报员