国家知识产权局信息显示，上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“ISSG工艺监控方法”的专利，公开号CN122622634A，申请日期为2025年2月。

专利摘要显示，本发明提供了一种ISSG工艺监控方法，通过在ISSG工艺之后增加一道光刻工艺同时形成上层套刻标记层，之后进行套刻精度量测获得第一套刻残留值，后将上层套刻标记去除，通过收集第一套刻残留值与第一套刻残留分布图，并与基准范围进行比较，及时反馈ISSG工艺后的晶圆翘曲程度，从而判定ISSG工艺温度补偿是否需要进行调整，以便及时有效地监控ISSG工艺温度，避免工艺温度异常对晶圆翘曲和后续光刻套刻测量造成影响。

天眼查资料显示，上海华力集成电路制造有限公司，成立于2016年，位于上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2103次，专利信息2899条，此外企业还拥有行政许可550个。

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作者：情报员