8月24日,据财闻海外资讯,韩国KC-Tech确定成为SKC子公司Apsolix的半导体玻璃基板用CMP设备及研磨液独家供应商,最快今年4季度启动供货,首次进军该市场。单机设备价格达70-80亿韩元,因需在大尺寸玻璃面板实现极高平面度,规格与成本走高。
Apsolix早期未设半导体级CMP工序,因微细布线与玻璃通孔(TGV)工艺对平面度要求提升而新增。TGV电镀残留多余铜材易生高度差,蚀刻难控平整度,引入CMP可精密消除玻璃、铜表面台阶差,管控平面度决定良率。
Apsolix是SKC在美国佐治亚州设立的玻璃基板专业子公司。玻璃基板相较传统有机封装基板,热膨胀系数更低,更适合做大尺寸面板、实现微细布线,被视作面向AI加速器、高性能计算HPC芯片的下一代封装基板。
SKC此前曾披露,受客户需求变化,新增多项验证项目,已经调整玻璃基板量产时间以及内部战略。
KC‑Tech是韩国本土同时自研自产半导体CMP设备与研磨液的厂商,长期向三星电子、SK海力士供货。本次供货标志着其业务从硅片为主的CMP业务,拓展至先进封装基板领域。
KC-Tech今年4月公开披露完成510×515毫米规格玻璃基板CMP设备开发。
有消息称,KC‑Tech还在洽谈向博通、台湾PTI在新加坡设立的面板级先进封装合资企业供应CMP设备。
KC‑Tech相关人士回应:“涉及客户相关内容无法予以确认。”
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