国家知识产权局信息显示，科磊股份有限公司申请一项名为“基于扫描衍射的叠加散射测量”的专利，公开号CN122641770A，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，一种方法包含照明具有多个测量单元的叠加目标。所述方法进一步包含当实施计量配方时在通过平移台沿台扫描方向扫描叠加目标时从第一及第二光检测器接收时变干涉信号。所述叠加目标可包含多个测量单元，其中每一测量单元包含光栅叠光栅结构，所述光栅叠光栅结构包含重叠区域中的位于所述样本的第一层上的第一层光栅特征及位于所述样本的第二层上的第二层光栅特征。所述第一层光栅特征及所述第二层光栅特征可具有类似间距。所述方法包含针对所述多个测量单元中的每一测量单元确定所述第一光检测器与所述第二光检测器之间的一或多个差分信号。所述方法包含基于所述确定的一或多个差分信号来确定叠加测量。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

本文源自：市场资讯

作者：情报员