国家知识产权局信息显示，奈克斯沃夫有限公司申请一项名为“处理腔导向装置、处理腔和用于将基体支架引导至处理位置处的方法”的专利，公开号CN122629582A，申请日期为2018年3月。

专利摘要显示，本发明涉及一种处理腔导向装置，所述处理腔导向装置构造成用于沿导向方向直线引导能在所述处理腔导向装置中移动的基体支架，以利用所述基体支架向处理位置处的移动，使得处理腔导向装置和基体支架至少构成处理腔导向装置的局部的边界。本发明的特征在于，所述处理腔导向装置具有用于基体支架的滚动体支承结构和至少一个密封面，所述密封面平行于导向方向延伸并且构造和设置成使得，当设置在处理腔导向装置中的基体支架处于处理位置处时，密封面与基体支架隔开小于1mm的间距。本发明还涉及一种处理腔和一种用于将基体支架引导到处理位置处的方法。

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作者：情报员