来源：问董秘

投资者提问：

请问公司，在先进 制程领域里，HARP工艺比传统TEOS工艺的优势在哪？HARP工艺里，O3发生器是否为核心系统之一？

董秘回答(盛美上海SH688082)：

尊敬的投资者您好！具体信息请以公司官方公开披露信息为准。公司将不断深化半导体设备产业链的上下游协同合作，若有达到披露标准的重大业务合作，我们将严格按照相关法律法规及时履行信披义务。感谢您的关注！

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