国家知识产权局信息显示,浙江丽水中欣晶圆半导体材料有限公司申请一项名为“一种基于波动强度实时感知的多源数据融合直径测量方法、系统、设备、介质及产品”的专利,公开号CN122649074A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本发明涉及半导体材料制造技术领域,尤其是基于波动强度实时感知的多源数据融合直径测量方法,包括:步骤S1,实时同步采集视觉测径值、称重测径值、液面高度值,确保各数据流时序对齐;步骤S2,针对观测时段内任一时刻,进行实时波动强度计算和变化率一致性判断;步骤S3,预设第一、第二波动阈值,其中第一波动阈值小于第二波动阈值,根据液面波动强度指标与第一波动阈值及第二波动阈值的大小关系,确定视觉测径值的视觉测径权重:基于视觉测径权重与预设的权重总和的互补关系,确定称重测径权重;步骤S4,为视觉测径值和称重测径值分配相应权重,进行加权计算,得到融合直径值,将其作为晶棒的当前实际直径测量值用于闭环控制。
天眼查资料显示,浙江丽水中欣晶圆半导体材料有限公司,成立于2022年,位于丽水市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本350000万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江丽水中欣晶圆半导体材料有限公司参与招投标项目40次,专利信息12条,此外企业还拥有行政许可17个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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