国家知识产权局信息显示,北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请一项名为“装载腔室、晶圆位置校准方法、装置和相关设备”的专利,公开号CN122662620A,申请日期为2025年2月。
专利摘要显示,一种装载腔室、晶圆位置校准方法、装置和相关设备,所述方法包括:获取相应的第一轨迹长度和第二轨迹长度;基于相应的第一轨迹长度和第二轨迹长度,获取至少两片晶圆的中心线分别与相应的晶圆装载盒的中心线之间沿第一方向的偏移量;基于至少两片晶圆的中心线与相应的晶圆装载盒的中心线之间沿第一方向的偏移量,按照晶圆承载结构的高度从高至低的顺序,依次对至少两片晶圆分别进行位置对准和放置操作。本发明技术方案能够实现至少两片晶圆的中心线与多个晶圆装载盒的中心线在所述第一方向上的准确对准,有利于提高晶圆对准的效率,从而有利于提高晶圆的装载效率。
天眼查资料显示,北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司,成立于2017年,位于北京市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析,北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司参与招投标项目23次,财产线索方面有商标信息13条,专利信息691条,此外企业还拥有行政许可126个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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