国家知识产权局信息显示,中科芯微智能装备(沈阳)有限公司取得一项名为“晶舟升降冷却装置”的专利,授权公告号CN224692213U,申请日期为2025年6月。

专利摘要显示,本实用新型公开了晶舟升降冷却装置,包括:升降组件,具有用于驱动晶舟在工艺腔室内垂直升降的升降端;冷却盘组件,与所述升降端连接,所述冷却盘组件内设有径向分布的多个环状的冷却层级,各冷却层级内设置有流通冷却介质的冷却通道;其中,所述冷却介质的流通方向为由内环向外环流动,且所述冷却通道的疏密度沿径向从圆心向外呈先减小后增加的变化趋势。采用上述方案,使得更多未充分换热的冷却介质迅速输送至边缘区域,在通道密集布置下增强边缘热交换效能,从而显著提升了边缘区域的冷却效果。

天眼查资料显示,中科芯微智能装备(沈阳)有限公司,成立于2020年,位于沈阳市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析,中科芯微智能装备(沈阳)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目3次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息75条,此外企业还拥有行政许可8个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

本文源自:市场资讯

作者:情报员