国家知识产权局信息显示，杭州星原驰半导体有限公司申请一项名为“一种晶圆镀膜设备加热器快速冷却系统”的专利，公开号CN122669343A，申请日期为2026年5月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体晶圆镀膜设备技术领域，具体为一种晶圆镀膜设备加热器快速冷却系统，包括加热器本体、散热器、蝶阀以及排气风机箱，加热器本体上开设有和内部夹层空间连通的出气口，散热器的进气端和出气口连接，散热器的出气端和排气风机箱的进气端通过带有蝶阀的管路连接。本发明通过风冷和水冷的结合，利用冷空气首先对反应腔体进行降温，配合水冷散热器对吸热后的热气进行冷却，不仅能够让空气携带的热量被冷却水快速吸收，还能实现对反应腔体中热量的双重转移，相比直接排放热空气，能够让反应腔体中的热量被更快带走，大幅提升整体散热效率，实现加热器的快速降温冷却。

天眼查资料显示，杭州星原驰半导体有限公司，成立于2021年，位于杭州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本343.8463万人民币。通过天眼查大数据分析，杭州星原驰半导体有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目3次，财产线索方面有商标信息7条，专利信息38条，此外企业还拥有行政许可2个。

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作者：情报员