现在全球AI芯片的算力越来越高,功耗也跟着直线往上涨,散热已经成了卡住芯片性能的关键问题。过去大家常用的铜和传统散热材料,导热能力已经快要达到物理极限。
中国团队最近在人工合成金刚石领域拿下了重要进展,自主研发出第三代设备,做出了直径达到200毫米的8英寸金刚石晶圆,导热能力达到纯铜的5倍以上。这项技术不仅解决了高发热问题,也让国产半导体材料打进了全球最高端的供应链。
现在大家都在关注AI大模型的运行速度,各家芯片厂商都在拼命提高晶体管密度,但算力提升带来了一个直接后果,就是芯片发热量越来越大。
最新的顶级AI芯片,单颗功耗已经超过了1000瓦,后续新架构的功耗甚至直接朝着2000瓦走。芯片核心区域单位面积的发热强度,已经超过了每平方厘米100瓦到200瓦。
这种发热强度带来了严重的物理限制。芯片温度一旦超过安全运行线,系统就会自动降频,算力直接缩水,甚至会导致器件永久损坏。以前工业界主要使用纯铜、铜钼合金或者氮化铝陶瓷来做散热基板。
同时金刚石还具备绝缘、耐高压和热膨胀系数低的特性。但过去海外厂商一直对相关制造装备和高等级产品进行严格限制,国内芯片产业想要获取高导热散热片,面临着采购受限和成本极高的双重问题。
国内科研机构和企业没有停步,而是集中力量攻关材料物理特性。研究人员通过分析碳原子结构,确定了利用人工合成金刚石解决高热流密度问题的技术路线,通过改变材料配比,让热量传导速度大幅提升,彻底打破了传统金属散热的物理上限。
既然金刚石性能这么强,为什么过去大家一直用不起、用不上呢?
金刚石在实验室里长出来并不难,难的是把它做大、做薄,并且能直接放进现有的芯片制造工厂里使用。过去很长一段时间,全球能做出来的多晶金刚石晶圆主要集中在2英寸或者4英寸。小尺寸晶圆在半导体产线上有很大缺陷,因为现在主流的芯片封装和加工产线都是8英寸或者12英寸的标准。
如果使用4英寸晶圆,工厂就必须专门改造夹具和机台,产线兼容成本非常高。而且晶圆在切割和打磨过程中,边缘部分的材料损耗率高达30%到45%。金刚石本身是自然界硬度最高的物质,莫氏硬度达到10,研磨抛光极其费工费时。小尺寸金刚石做出来之后,每平方厘米的加工成本分摊下来,一片热沉片的价格往往达到数万元,绝大多数下游硬件厂商根本承受不起。
想要把成本打下来,唯一的出路就是做出8英寸也就是直径200毫米的大尺寸晶圆。但尺寸做大之后,内部应力容易集中,生长过程中极易碎裂,而且设备内部的等离子体放电一旦不均匀,晶圆厚度就会出现偏差。
过去国内缺少自主制造的大功率微波等离子体化学气相沉积设备,也就是MPCVD设备,进口一台设备动辄需要数千万元,生产工艺参数也完全受制于人。
哈尔滨工业大学朱嘉琦教授团队从2013年开始,针对MPCVD设备的设计和工艺控制进行了十多年的连续攻关。团队先后迭代了三代设备,攻克了微波功率调控和大面积均匀生长的技术难点。最新研发出的国产MPCVD设备,建造成本只有国外同类进口设备的60%左右。
利用这套自主设备,团队成功实现了8英寸多晶金刚石晶圆的稳定生长,晶圆厚度均匀性控制在正负5%以内,材料纯度达到99.999%以上,单片有效使用面积直接达到了4英寸晶圆的4倍,边缘材料损耗降到了15%以下,把单位面积的综合加工成本直接拉低了40%到60%。
装备和尺寸都解决了,这项技术能不能真正走出实验室、在市场上形成规模产能?
在技术研发取得突破的同时,海外厂商也在加快商业化动作。英伟达在规划下一代算力架构时,就已经把金刚石铜复合材料列入高端服务器的散热方案,海外供应链企业也在加紧锁定这一代AI硬件的材料订单。
而且金刚石材料在实际应用中还有一个难点,就是金刚石和铜等金属之间的结合力很弱,如果界面处理不好,热量依然会在接缝处堆积,无法发挥出金刚石的导热优势。
这项产品已经向国内头部的电脑制造厂商和服务器厂商进行批量送样和供货,彻底打通了从材料制备到终端装机的完整通路。
实体生产基地的扩产也在快速推进。河南风优创投资3.6亿元建设的8英寸金刚石热沉片产线已经正式投产,首期配置了50台MPCVD设备,规划年产能达到2万片。
惠丰钻石也实现了8英寸多晶金刚石热沉片的稳定生产,并在包头基地规划了500台大型MPCVD设备的产能,用来满足大功率激光器、光伏逆变器和AI算力芯片的散热需求。
中国本身就是全球最大的人造金刚石生产国,产量占到全球的90%左右。但过去国内企业主要集中在磨料磨具、工业刀具和人造珠宝等附加值较低的领域,产品单价按克拉计算,利润空间有限。
现在8英寸金刚石热沉片的量产,直接把金刚石材料推进了半导体和高算力硬件的核心供应体系。国内产业不仅掌握了生长设备的设计制造能力,还在大尺寸晶圆加工和复合材料制备上建立了完整的本土产业链,实现了从基础原料输出向高附加值半导体材料的全面转变。
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